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                  淄博国家高新区MEMS研究院于2010年由淄博高新区与清华大学机械工程学院合作共建,致力于建设运营国内首条6英寸硅基MEMS中试代工线,引进培养MEMS专业人才,推进MEMS技术和产品在淄博的研发与产业化,带动我国MEMS产业及其相关的先进制造、电子信息和新材料等产业的跨越式发展。
                  研究院聘请中国工程院院士尤政教授担任名誉院长,设有“精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS分实验室”、“清华大学微米纳米技术研究中心MEMS分中心”和“智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室”等机构,可提供MEMS器件设计、中试、代工和检测分析等专业服务,并具备知识产权、标准化等公共服务。
                  为推动MEMS科技成果转化,研究院投资组建了国有控股公司——明彩彩票平台。公司集中了国内专业从事MEMS工艺和传感器设计的专家人才,专门从事MEMS微型传感器的研发与生产,是山东省第一家采用MEMS技术中试生产微型传感器的企业。


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                明彩彩票 光刻键合工艺    
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                资质荣誉 薄膜沉积和扩散工艺
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